產生原因：

(1)真空泵的轉速不夠；

(2)密封不嚴，在進氣管路的連接處或軸封處漏氣；

(3)泵的轉子與轉子、轉子外圓與泵殼，轉子端麵與端蓋周的間隙過大，氣體返流量增大；

(4)環境溫度或冷卻水的溫度過高。

排除方法：

(1)如泵的轉速不夠，且抽氣量是與泵的轉速成正比，則泵的抽氣量就會下降。

這有兩種情況；一種情況是泵的轉速未配備好，也就是皮帶輪的直徑不合適，可更換皮帶輪，改變皮帶輪的直徑；

另一種情況可能是皮帶安裝不當、未張緊，皮帶打滑而降低了轉速，這可調節電機位置，使皮帶張到一定緊度。

(2)查明何處漏氣，如是連接法蘭處漏氣，則可能是由於連接螺釘鬆動，墊圈壓破變質或者是法蘭麵加工不平；

如是在軸封處漏氣，則有可能是密封皮碗未裝正或破裂，此時則更換皮碗並裝正；

若是填料密封的，可將紮進的填料掏出，更換新的，但填料的接口必須是斜麵而互相搭接服貼，第一圈的接口必須與第二圈的接口錯開，不能在同一位置上。

(3)若轉子與轉子型麵間的間隙不均勻，在轉圈中處間隙大，另一處間隙小，這由於在裝配時同步齒輪的齧合狀況未調整好，則這對同步齒輪之一的齒輪作輪轂固定，另一個齒輪的輪轂做成可以調節的，因為兩轉子的外型是共軛曲麵，要互相正常齧合。

與此同時，外端的傳動齒輪(同步齒輪)也要處於正常齧合狀態，這樣輻子才能正常傳動。

否則，即使能轉動，也可能出現在轉冠中，兩轉子間的間隙時大時小。

在這種狀態下，將可調齒輪連接輪轂的螺釘擰鬆並拔出定位銷釘，進行調節，便轉子的齧合和齒輪的齧合同時達到正常齧合狀態，這時各處間隙就均勻了，重新擰緊螺釘，重鉸銷釘孔並裝上銷釘定位。

倘如轉子外徑與泵殼的間隙某處過大，則可擰鬆端蓋與泵殼的連接螺釘，拔出定位銷，進行調節，待各處間隙都均勻了，再擰緊螺釘，重鉸端蓋與泵殼的定位銷孔並裝上錐銷。

(4)環境溫度升高則抽氣量就會降低，針對這種情況，盡量將注入水溫降低。

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